一种用于硅晶体生长设备的水冷却装置.pdfVIP

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2023-03-09 发布于四川
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一种用于硅晶体生长设备的水冷却装置.pdf

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本实用新型公开了一种用于硅晶体生长设备的水冷却装置，包括箱体、水泵、反应炉和底座，所述底座顶端的一侧固定有箱体，所述导水管设置于冷凝管的内部，所述导水管的一侧固定有第一密封圈，且第一密封圈的一侧与箱体内部的一侧固定，所述导水管的外侧壁固定有第二密封圈，所述套筒设置于冷凝管和第二密封圈交结处的外侧壁。本实用新型通过在水冷却装置冷凝管的底端设置有回收结构，可以将导水管接入到冷凝管的内部，使得冷凝管内部通过的水流再次回到箱体的内部，避免了冷凝管内部通过的水流被排放掉造成水资源的浪费，该结构的设置很好的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213357810 U (45)授权公告日 2021.06.04 (21)申请号 202022200697.0 (22)申请日 2020.09.30 (73)专利权人如皋卓远中乌第三代半导体产业