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本实用新型公开了一种防松动的硅片脱胶架,涉及硅片脱胶架技术领域,为解决现有的硅片脱胶架,为框架定位,形成内部限位,随着不断的滑动,导致内部硅片排列发生松动,使得相互碰撞,影响硅片的质量的问题。本实用新型包括温热罐,温热罐的中间设有硅片脱胶架,硅片脱胶架包括转动过滤组件,转动过滤组件为转动筛,转动筛的中间设有旋转端,旋转端的外侧设有限位组件,限位组件设有多组,多组限位组件环绕旋转端的外侧设置,两组限位组件的之间设有隔断组件,通过多组限位组件环绕旋转端的外侧设置,根据硅片的大小,通过定位孔安装不同的
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218585961 U
(45)授权公告日 2023.03.07
(21)申请号 202223184695.2
(22)申请日 2022.11.29
(73)专利权人 安徽晶天新能源科
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