- 1、本文档共7页,其中可免费阅读4页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型涉及一种基于滚轮夹持驱动的晶圆定位校准装置,包括固定板、一对并列设置在固定板侧面的夹持单元、设置在固定板侧面并位于两夹持单元之间的晶圆缺口校准机构以及设置在固定板侧面并与夹持单元相适配的平移限位机构,夹持单元包括设置在固定板侧面的气缸驱动机构、与气缸驱动机构传动连接的马达安装座以及一对并列设置在马达安装座上的滚轮驱动机构。与现有技术相比,本实用新型通过滚轮夹持晶圆的外缘来定位晶圆的圆心,不接触晶圆中心部位,不存在污染晶圆等风险;通过滚轮驱动晶圆一起旋转,滚轮与晶圆外缘的接触点不是一个固
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213424965 U
(45)授权公告日 2021.06.11
(21)申请号 202022934111.3
(22)申请日 2020.12.10
(73)专利权人 上海微松工业自动化有限公司
您可能关注的文档
- 一种防水双模组MEMS麦克风.pdf
- 一种标定家用报警器的结构.pdf
- 一种具备自动定位功能的锂电池保护板.pdf
- 电热保暖手机套.pdf
- 一种可调节光照范围的台灯.pdf
- 多功能智能感应开关.pdf
- 一种防腐蚀天平.pdf
- 一种基于公有云的网络数据交换装置.pdf
- 一种具有激光打印机的自助服务终端.pdf
- 一种穿墙式自助服务终端.pdf
- 图像生成:Stable Diffusion:高性能计算在图像生成中的应用.pdf
- 图像生成:StyleGAN:StyleGAN架构详解.pdf
- 语音识别与生成:Google Cloud Speech-to-Text的未来趋势技术教程.pdf
- 自然语言生成:文心一言:自然语言生成评估方法.pdf
- 图像生成:Midjourney在游戏开发中的应用技术教程.pdf
- 图像生成:Stable Diffusion模型部署从训练到生产环境.pdf
- 图像生成:StyleGAN:StyleGAN的伦理与社会影响.pdf
- 文本摘要:生成式摘要:文本摘要的实时生成技术教程.pdf
- 语音识别与生成:科大讯飞:科大讯飞语音识别技术概览.pdf
- 语音识别与生成:Microsoft Azure Speech:AzureSpeech服务的实时语音流处理.pdf
最近下载
- 办公用品订购合同范本.docx VIP
- WORD版本刻度尺-A4纸打印可用.doc
- 90nm逻辑产品Peeling缺陷的解决方案.pdf
- 神经系统的分级调节.pptx VIP
- 中建施工总平面布置图设计(69页).pdf
- 2024年公共卫生与预防医学继续教育平台“大学习”活动线上培训栏目考试题库(1392题).docx
- 北师大版(2023)必修第一册 Unit 2 Sports and Fitness单元教学设计.pdf VIP
- 2016-2023年长沙民政职业技术学院高职单招(英语/数学/语文)笔试历年参考题库含答案解析.docx
- 农业经济学-农业资金.ppt VIP
- 齐鲁医学神经系统疾病的辅助检查.ppt VIP
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
文档评论(0)