一种合成炉测温结构.pdfVIP

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2023-03-12 发布于四川
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一种合成炉测温结构.pdf

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本实用新型涉及半导体材料领域，公开了一种合成炉测温结构，包括设置于堵头上的测温器，测温器位于合成炉内壁与石英管外壁之间，且测温器沿合成炉轴向延伸，测温器的探头与石英管的外壁之间具有间隙，堵头上开设有测温孔，测温器设置于测温孔内。本实用新型能够解决由于在合成炉上打孔造成热量流失，温场紊乱的问题，以提高产品制成率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213481565 U (45)授权公告日 2021.06.18 (21)申请号 202021467889.1 (22)申请日 2020.07.22 (73)专利权人威科赛乐微电子股份有限公司