一种单晶硅片的清洗机.pdfVIP

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2023-03-12 发布于四川
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一种单晶硅片的清洗机.pdf

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本实用新型公开了一种单晶硅片的清洗机，包括底座，所述底座顶部设置有清洗架，所述清洗架中心滑动连接有清洗台，所述清洗台上固定连接有手拉架，所述清洗架上设置有下料门；所述清洗架前端面两侧设置有与清洗台相对应的支撑架，所述清洗台顶部设置有多个定位辅助组件，所述清洗架上设置有清洗组件；本实用新型通过设置的清洗组件，使得对单晶硅片进行清洗时，清洗后的水混杂污渍通过漏水孔进入蓄水箱中心，水中杂质被活性炭吸附板吸附，蓄水箱中心的水重新进入水泵中心进行清洗，实现了水循环，且具备较好的清洗效果。

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218591279 U (45)授权公告日 2023.03.10 (21)申请号 202223027801.6 (22)申请日 2022.11.15 (73)专利权人济南科盛电子有限公司地址 25