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本实用新型属于半导体设备技术领域,尤其涉及一种碳化硅腐蚀炉炉体及碳化硅腐蚀炉,该碳化硅腐蚀炉炉体包括外壳、隔热层、加热装置及坩埚,所述外壳为开口向上的筒状结构,所述外壳的上部开口处设置有向内侧伸展的凸缘,所述坩埚包括开口向上且呈筒状的坩埚主体及由所述坩埚主体的上部开口向外伸展的翻边,所述隔热层包裹所述坩埚主体,所述翻边及凸缘均贴附在所述隔热层的上端面上,所述翻边的外侧边缘与凸缘的内侧边缘之间具有缝隙。本申请的碳化硅腐蚀炉炉体及碳化硅腐蚀炉,隔热层只有上端面通过一条狭小的缝隙外露,整体封闭在外壳与
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213476159 U
(45)授权公告日 2021.06.18
(21)申请号 202021965426.8
(22)申请日 2020.09.09
(73)专利权人 比亚迪股份有限公司
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