一种用于氯硅烷在线检测的智能管控系统.pdfVIP

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2023-03-12 发布于四川
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一种用于氯硅烷在线检测的智能管控系统.pdf

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本实用新型提供一种用于氯硅烷在线检测的智能管控系统，所述用于氯硅烷在线检测的智能管控系统包括依次连通设置的防爆分析屋、GC检测装置、GCMS检测装置和ICPMS检测装置，还包括处理器、二级减压阀、气体浓度探测仪、回收泵装置和报警装置；二级减压阀连通于防爆分析屋和GC检测装置之间；处理器控制连接GC检测装置、GCMS检测装置、ICPMS检测装置、二级减压阀和回收泵装置；气体浓度探测仪用于检测防爆分析屋内的气体浓度，处理器通过气体浓度探测仪控制连接报警装置；防爆分析屋还连通有ICPMS检测装置、以向

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218601227 U (45)授权公告日 2023.03.10 (21)申请号 202222954109.1 G01N 30/06 (2006.01)