一种用于卡匣的检查装置.pdfVIP

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2023-03-12 发布于四川
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一种用于卡匣的检查装置.pdf

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本实用新型公布了一种用于卡匣的检查装置，包括卡匣、第一移动机构、3D扫描仪和控制系统；所述卡匣用于放置半导体器件；所述第一移动机构设置在所述卡匣的一侧，所述第一移动机构上设置有所述3D扫描仪，所述第一移动机构用于带动3D扫描仪移动，所述3D扫描仪用于绘制卡匣的三维图，并发送给控制系统；所述控制系统连接所述第一移动机构和所述3D扫描仪，所述控制系统用于根据绘制后卡匣的三维图判断卡匣是否异常。上述技术方案中控制系统通过3D扫描仪来判断卡匣的状态是否符合标准，如果不符合标准，控制系统便通知工作人员来对

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213471206 U (45)授权公告日 2021.06.18 (21)申请号 202022179564.X G01B 11/02 (2006.01) (22)申请日 2