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本实用新型公开了一种具有移动机械手的晶圆磨削设备，包括：设备前端模块、磨削模块、抛光模块、以及，移动传输模块，用于晶圆传输，其平行于抛光模块设置并位于前端模块和磨削模块之间；其中，移动传输模块包括移动存储台和移动机械手，移动存储台用于将晶圆从靠近设备前端模块的第一位置运送至靠近磨削模块的第二位置以及从第二位置运送回第一位置，移动机械手用于从设备前端模块接收干燥的晶圆并将干燥的晶圆放置于移动存储台上以避免污染晶圆并降低晶圆在不同模块之间传递的时间从而提高设备产能。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213470572 U
(45)授权公告日 2021.06.18
(21)申请号 202022256924.1
(22)申请日 2020.10.12
(73)专利权人 华海清科股份有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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