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2023-03-12 发布于四川
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本实用新型提供了一种开盖机构，涉及晶圆测试装备技术领域，本实用新型提供的开盖机构包括：开盖面板、开盖组件、传动件和驱动件；开盖组件包括门栓和传动轮，门栓与开盖面板转动连接，传动轮与门栓传动连接，驱动件通过传动件驱动传动轮转动；驱动件与传动轮之间或传动轮与门栓之间设有过载保护件，当门栓卡在开盖面板时，过载保护件阻断驱动件向门栓传递动力。本实用新型提供的开盖机构缓解了相关技术中开盖机构开盖失败时导致晶圆盒盖损坏的技术问题。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213483731 U (45)授权公告日 2021.06.18 (21)申请号 202023347846.2 (22)申请日 2020.12.31 (73)专利权人杭州长川科技股份有限公司