一种内嵌反射层的高功率容量体声波谐振器.pdfVIP

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2023-03-12 发布于四川
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一种内嵌反射层的高功率容量体声波谐振器.pdf

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本实用新型提供了一种内嵌反射层的高功率容量体声波谐振器，包括：叉指电极系统、薄膜；所述叉指电极系统包括：正电极、负电极；所述薄膜采用铌酸锂薄膜；当铌酸锂薄膜的表面的叉指电极系统分别被加载正电极和负电极时，交互的相邻电极之间产生的水平电场将在铌酸锂薄膜中激励起剪切波谐振；该剪切波谐振为此谐振器的主谐振模，且谐振波长大约是铌酸锂薄膜厚度的两倍。本实用新型通过采用采用叉指电极在铌酸锂薄膜上激发剪切波谐振，使得该谐振器的谐振频率主要与薄膜厚度有关，从而可以很容易地实现高频率谐振，解决了一般声波谐振器很难

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213484830 U (45)授权公告日 2021.06.18 (21)申请号 202022742111.3 (22)申请日 2020.11.24 (73)专利权人浙江信唐智芯科技有限公司