一种可调的真空磁控溅射镀膜设备工件转架.pdfVIP

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2023-03-12 发布于四川
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一种可调的真空磁控溅射镀膜设备工件转架.pdf

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本实用新型公开了一种可调的真空磁控溅射镀膜设备工件转架，包括上支撑盘、上支撑座、下支撑盘、下支撑座、撑杆，上支撑盘固定在上支撑座上，下支撑盘固定在下支撑座上，撑杆连接上支撑盘、下支撑盘，在上支撑盘、下支撑盘之间沿周向分布有多块活动挂板，活动挂板一侧与设置在上支撑座、下支撑座之间的转轴连接，在上支撑座、下支撑座上分别对应设置有呈圆弧形的导轨，活动挂板的另一侧的上、下部分别设置有与导轨相匹配的导向销，活动挂板可沿导轨绕转轴转动。通过转动活动挂板可以控制活动挂板到溅射阴极之间的距离，使挂板跟溅射阴极呈

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213476090 U (45)授权公告日 2021.06.18 (21)申请号 202022138272.1 (22)申请日 2020.09.25 (73)专利权人湖南玉丰真空科学技术有限公司