一种蒸镀坩埚及蒸镀装置.pdfVIP

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2023-03-12 发布于四川
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一种蒸镀坩埚及蒸镀装置.pdf

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本实用新型提供了一种蒸镀坩埚，包括：坩埚本体；以及支脚，设置在所述坩埚本体底部；所述支脚的至少部分表面凸出所述坩埚本体底部以使所述坩埚本体的底部悬空。本实用新型的蒸镀坩埚由于在坩埚本体底部设置有支脚来使得坩埚本体可以悬空，这样坩埚本体放置到蒸镀装置的火山口上时，就能够与火山口隔开，而火山口的底部是流通有循环冷却水，通过支脚的间隔作用，在蒸镀贵金属靶源时，电子束轰击坩埚本体内贵金属靶源产生的热量不会传导至火山口上，这样贵金属靶源更加容易熔化，蒸镀过程的耗能更低，且技术方案成本低。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213507164 U (45)授权公告日 2021.06.22 (21)申请号 202021262952.8 (22)申请日 2020.07.01 (73)专利权人重庆康佳光电技术研究院有限公