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本实用新型公开了一种稳定的气体流量控制系统，包括滤膜夹持装置、小孔流量计模块、真空抽气泵、控制器，滤膜夹持装置包括可夹持滤膜的滤膜夹，滤膜夹持装置下端通过转换接口和小孔流量计模块的前端相连接，小孔流量计模块的后端通过管路和真空抽气泵相连接，控制器的使能控制接口和模拟量输出接口通过控制线与真空抽气泵的控制端口连接；小孔流量计模块包括前端软管接口和后端软管接口，前端软管接口和后端软管接口分别通过前端管道和后端管道连接控制器的两个软管压力输入接口，该系统设计在普通流量计的基础上做了升级，不再需要依靠人
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213482711 U
(45)授权公告日 2021.06.18
(21)申请号 202022295483.6
(22)申请日 2020.10.15
(73)专利权人 康姆德润达（无锡）测量技术有限
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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