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本实用新型公开了一种曝光用透明光罩和曝光设备,曝光用透明光罩包括:光罩本体,所述光罩本体内设置有冷却腔,所述冷却腔内流动有气态或液态的冷却介质,所述光罩本体上还设置有与所述冷却腔连通的进口和出口。通过在光罩本体内设置冷却腔,并且通过冷却腔内流经的冷却介质,从而可以使透明光罩温度的变化小,如此不会引起透明光罩尺寸的变化,进而不会造成曝光图案的失真。并且,透明光罩温度的变化小,从而不会将热量传导给基板,也不会使基板产生更大的变形,进而可以避免曝光后的产品尺寸的失真以及产品的质量不稳定。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213581730 U
(45)授权公告日 2021.06.29
(21)申请号 202022142234.3
(22)申请日 2020.09.25
(73)专利权人 南昌欧菲显示科技有限公司
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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