一种基于不锈钢超构材料的片上光谱芯片.pdfVIP

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2023-03-14 发布于四川
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一种基于不锈钢超构材料的片上光谱芯片.pdf

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本实用新型公开了一种基于不锈钢超构材料的片上光谱芯片，该光谱芯片由金属不锈钢超材料层构成，不锈钢超材料层的镂空图案为一个对称型的哑铃；光谱芯片厚度为50μm，整个光谱芯片的大小为10.5cm×10.5cm，包含25个像素点，每个像素点的尺寸大小为1.5cm×1.5cm，每个像素点含有100×60个哑铃单元，光谱芯片的25个像素点中的哑铃型中间孔的宽度为以1μm为步长从5μm取到29μm，芯片上每个像素点的上下、左右间距为0.5cm；当像素点中的哑铃形中间孔的宽度由5μm增加到29μm时，产生的透

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213580650 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202022308396.X (22)申请日 2020.10.16 (73)专利权人中国计量大学地址