用于晶圆转运的机械手臂.pdfVIP

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2023-03-14 发布于四川
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用于晶圆转运的机械手臂.pdf

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本实用新型公开了一种用于晶圆转运的机械手臂，包括：手臂，所述手臂具有手臂本体和设置在所述手臂本体上的若干吸附件，若干所述吸附件呈环形排布在所述手臂本体上，所述吸附件的吸附口朝手臂本体的正面开口；第一传感设备，设置在所述手臂本体上，所述手臂本体的正面具有容置槽所述第一传感设备设置在所述容置槽内，且所述第一传感设备的外表面不突伸出所述手臂本体的外表面。本实用新型通过第一传感设备的设置能够在机械手臂到达晶圆位置后准确的获取是否在该区域存在晶圆，能够降低误判，进入减少晶圆碎片的问题。

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218602378 U (45)授权公告日 2023.03.10 (21)申请号 202222251802.2 (22)申请日 2022.08.25 (73)专利权人颀中科技（苏州）有限公司地址