- 1、本文档共14页,其中可免费阅读7页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型提供一种PECVD设备,包括腔室、升降组件、位于腔室内的遮蔽架和多个支撑件,腔室可封闭,支撑件沿腔室的内侧壁间隔设置,且各支撑件位于同一水平面上,遮蔽架搭设在多个支撑件上且与腔室的内侧壁之间具有间隙,至少部分升降组件伸入腔室内且可沿竖直方向往复移动,用以使遮蔽架搭设在升降组件的基板上或搭设在多个支撑件上。本实用新型提供的PECVD设备,减少支撑件与腔室内侧壁和遮蔽架摩擦产生的颗粒,提高产品的良品率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213570728 U
(45)授权公告日 2021.06.29
(21)申请号 202022096863.7
(22)申请日 2020.09.22
(73)专利权人 成都中电熊猫显示科技有限公司
您可能关注的文档
- 一种钻孔防尘装置.pdf
- 面部识别设备.pdf
- 一种粉煤灰砖原料加工装置.pdf
- 腹腔穿刺引流管固定用透明敷料.pdf
- 一种散热效果好的汽车出风口生产用注塑模具.pdf
- 一种婴儿床支撑装置.pdf
- 一种无模板玻璃切割机的升降装置.pdf
- 一种方便面酱料生产用材料杀菌装置.pdf
- 一种成捆秸秆破碎输送和除尘装置.pdf
- 一种园林景观树的支撑架.pdf
- 2024年广西壮族自治区忻城县《一级注册建筑师之建筑设计》考试必刷100题大全含答案【突破训练】.docx
- 2024年广东省连州市《一级注册建筑师之建筑设计》资格考试题库【培优B卷】.docx
- 2024年广西壮族自治区《一级注册建筑师之建筑设计》资格考试完整题库必考题.docx
- 2024年广西壮族自治区右江区《一级注册建筑师之建筑设计》考试必背100题完整题库及答案.docx
- 2024年教师资格之中学教育学教育心理学精选试题及答案二.pdf
- 2024年广西壮族自治区大新县《一级注册建筑师之建筑设计》考试真题题库附答案【综合题】.docx
- 2024年广东省英德市《一级注册建筑师之建筑设计》考试题库大全及参考答案(能力提升).docx
- 2023年中学教研组工作计划3篇.pdf
- 2022~2023消防职业技能鉴定考试题库及答案第4期.pdf
- 2024年教学能力大赛教学实施报告模板及分析.pdf
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
文档评论(0)