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本实用新型涉及离子注入机摆动的技术领域,且公开了一种离子注入机用摆动装置,包括离子注入机外防护筒外壁两侧的两端均转动设有转动轴,四个转动轴的一端均固定设有支撑板,四个支撑板一端的一侧均固定设有固定轴,四个固定轴一端的外壁均套设有固定环,其中两个固定轴的外壁均传动设有缓冲杆,两个缓冲杆内壁的一端分别与另外两个固定轴的外壁传动连接,本实用新型一种离子注入机用摆动装置,通过在装置上设置有支撑摆动装置,在两侧的连接杆以及支撑柱组成的支撑装置的配合下,可保证离子注入机在其中间可以稳定摆动,且得到一定的缓冲
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213601837 U
(45)授权公告日 2021.07.02
(21)申请号 202022582271.6
(22)申请日 2020.11.10
(73)专利权人 无锡凯世通科技有限公司
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