一种玻璃集成光学器件中光波导结构.pdfVIP

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2023-03-15 发布于北京
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一种玻璃集成光学器件中光波导结构.pdf

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本实用新型公开了一种玻璃集成光学器件中光波导结构，包括玻璃基片，所述玻璃基片的内侧壁粘接有铌酸锂层，所述铌酸锂层的下表面粘接有芯层，所述玻璃基片的外侧壁涂覆有掩模层，所述掩模层的上方设有板体，所述板体靠近掩模层的一侧粘接有锡簸纸，所述锡簸纸远离板体的一侧粘接于掩模层远离玻璃基片的一侧，所述板体与玻璃基片的外侧壁涂覆有光刻胶层，所述光刻胶层的上表面粘接有下包层，所述下包层的上表面粘接有上包层；本光波导结构通过设置玻璃基片、铌酸锂层与芯层，具有良好的电光特性，可以大大降低器件功耗，具有最低的传输损耗

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213600919 U (45)授权公告日 2021.07.02 (21)申请号 202022415077.9 (22)申请日 2020.10.27 (73)专利权人李国英地址 04