一种大盘组件外圆定心结构及半导体晶圆减薄机.pdfVIP

下载本文档

0
0
约5.87千字
约 7页
2023-03-15 发布于四川
举报
版权申诉

一种大盘组件外圆定心结构及半导体晶圆减薄机.pdf

1、本文档共7页，其中可免费阅读4页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型公开了一种大盘组件外圆定心结构，并基于该大盘组件外圆定心结构提出一种半导体晶圆减薄机，所述大盘组件外圆定心结构包括安装在大理石基座上的大理石大盘，所述大理石基座对应大理石大盘的竖直投影位置处安装有若干个气浮凸台，所述大理石基座对应大理石大盘的外圆周位置处还安装有多个浮动限位块，大理石大盘的底部安装有气缸定位销，大理石基座的对应位置处设有与之配合的定位销孔，依靠大理石大盘的自重（约为一吨）以及一面两销的方式实现定位，大理石大盘的定心方式相比现有技术采用中心轴进行定心的方式具有结构简单、故

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213583719 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202120015523.9 (22)申请日 2021.01.05 (73)专利权人东莞市智控鑫能实业有限公司