一种抛光设备空气颗粒尘埃的抽排装置.pdfVIP

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2023-03-15 发布于北京
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一种抛光设备空气颗粒尘埃的抽排装置.pdf

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本实用新型提供了一种抛光设备空气颗粒尘埃的抽排装置，其确保将空气颗粒尘埃抽排出抛光机时、对抛光盘的划伤率低，提高沉底晶片抛光良品率。其包括抛光设备底座，所述抛光设备底座上布置有定盘转盘，所述定盘转盘上放置有陶瓷盘晶片载体，所述抛光设备底座通过上凸的弧板连接上部安装架，所述上部安装架上设置有若干个下露的抛光转盘，所述抛光转盘用于陶瓷盘晶片载体上的晶片的抛光，所述弧板上开设有至少一个抽排风口，每个所述抽排风口通过抽风管外接抽风动力装置，封闭原有的垂直抽排口。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213592637 U (45)授权公告日 2021.07.02 (21)申请号 202021068930.8 (22)申请日 2020.06.11 (73)专利权人江西德义半导体科技有限公司