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本实用新型涉及MOCVD薄膜材料制备技术领域，公开一种前体源气体输送装置。包括罐体和与其固定连接的顶盖；罐体内设有进气管、出气管以及对进气管和出气管进行加热的加热装置；所述进气管为变径管道，该变径管道由粗径管道和细径管道交替连接组成并且细径管道上连接有前体源气瓶；顶盖上设置有进气阀和出气阀，进气阀连通进气管的进口，进气管的出口和出气管的进口连通，出气管的出口连通出气阀。本实用新型设计进气管为变径管道，提高了载气气流中前体源蒸汽的含量；进气阀和出气阀与顶盖紧密接触，没有设置多余的管路连接，热传递最
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213596460 U
(45)授权公告日 2021.07.02
(21)申请号 202021942059.X
(22)申请日 2020.09.08
(73)专利权人 巩
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