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本实用新型提供一种耐高温多弧离子真空镀膜机,涉及真空镀膜技术领域。该耐高温多弧离子真空镀膜机,包括底座,底座底部固定连接有减震支撑腿,减震支撑腿内部套接有限位套筒,限位套筒内壁的底部固定连接有减震弹簧,减震弹簧顶部固定连接有固定托盘,底座上表面套接有减震杆且减震杆底部与固定托盘固定连接,底座内部设置有减震块,减震块内部设置有第一减震磁铁,第一减震磁铁底部固定连接有第二减震磁铁,底座上表面固定连接有真空镀膜室。该耐高温多弧离子真空镀膜机,通过减震弹簧、第一减震磁铁和第二减震磁铁的配合使用,解决了现
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213596384 U
(45)授权公告日 2021.07.02
(21)申请号 202021874404.0
(22)申请日 2020.09.01
(73)专利权人 视睿光学科技(东莞)有限公司
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