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本实用新型公开了混合气体配气装置,包括惰性气体进气管、氯气进气管,所述惰性气体进气管连通惰性气体管路的一端,所述氯气进气管连通氯气管路的一端,在惰性气体管路和氯气管路上,沿着气流方向,依次设置第一截止阀、调压阀、电子流量计、压力表,所述氯气管路的另一端和氯气管路的另一端都连通混合气体管路一端,在混合气体管路沿着气流方向,依次设置缓冲罐,第二截止阀,混合气体管路的另一端连接用气点。本实用新型所述混合气体配气装置,获得的混合气体压力和流量稳定,双气体配比精确,可以在线监控调节,实用性强。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213590156 U
(45)授权公告日 2021.07.02
(21)申请号 202021387170.7
(22)申请日 2020.07.15
(73)专利权人 南南铝业股份有限公司
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