一种多晶硅硅锭转运装置.pdfVIP

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2023-03-15 发布于四川
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一种多晶硅硅锭转运装置.pdf

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本实用新型涉及多晶硅材料加工技术领域，公开了一种多晶硅硅锭转运装置，包括载板，所述载板内固定设置有若干组均匀阵列的套杆，所述套杆内贯穿有限位杆，所述限位杆顶部外侧通过胶水粘合有橡胶套，所述限位杆底端固定设置有底板，所述限位杆靠近底板的上侧套接有弹簧，所述弹簧两端分别与套杆下端面和底板连接。本实用新型通过设置有限位杆和弹簧，可通过硅锭工件置于限位杆上，多组限位杆受重下移，并由工件四周的限位杆限制其位置，可用于异型硅锭限位，适用范围广，且可避免硅锭之间碰撞磨损，可通过橡胶套的设置，防止限位杆与硅锭之

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213594845 U (45)授权公告日 2021.07.02 (21)申请号 202021502066.8 (22)申请日 2020.07.27 (73)专利权人肖平地址 33