一种用于碳化硅晶体生长的热壁内外石英管.pdfVIP

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2023-03-15 发布于北京
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一种用于碳化硅晶体生长的热壁内外石英管.pdf

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本实用新型公开了一种用于碳化硅晶体生长的热壁内外石英管，包括安装座、石英管、弧形盖板、连接杆和液压推杆，所述安装座之间插设安装有石英管，所述石英管两侧分别设有对应的弧形盖板，所述弧形盖板内侧包覆有高温玻璃布，所述弧形盖板外侧顶部和顶部均通过螺栓固定安装有弧度安装板。通过高温玻璃布的使用，可有效降低真空离子发生器工作瞬时启动的高温对石英管的伤害，能够避免石英管爆裂，增长其使用寿命，减少机台维护频率，具有较高的实用性，且人员可在不接触石英管的情况下，对弧形盖板进行推送盖设，完成防护作业。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213596463 U (45)授权公告日 2021.07.02 (21)申请号 202022313523.5 (22)申请日 2020.10.17 (73)专利权人连云港保康石英制品有限公司