一种单晶硅腐蚀清洗装置.pdfVIP

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2023-03-15 发布于四川
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一种单晶硅腐蚀清洗装置.pdf

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本实用新型公开了一种单晶硅腐蚀清洗装置，涉及单晶硅清洗设备技术领域。本实用新型包括保护外壳，保护外壳的一端螺钉连接有传动电机，传动电机的输出端贯穿保护外壳固定连接有传动轴，传动轴的外侧固定有两个十字固定架，两个十字固定架的周侧固定有四个固定机构，四个固定机构的内部均安装有单晶硅体，固定机构包括U形固定架，U形固定架的两端均滑动连接有两个限位杆。本实用新型通过启动传动电机带动单晶硅体在保护外壳内部的液体里进行转动，使得装置能够均匀的对单晶硅体进行清洗，从而大大的提升装置的清洗效果，通过设置固定机构

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213591264 U (45)授权公告日 2021.07.02 (21)申请号 202022724036.8 (22)申请日 2020.11.23 (73)专利权人肖亮地址 71