一种坩埚冷却供水闭式循环系统.pdfVIP

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2023-03-15 发布于北京
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一种坩埚冷却供水闭式循环系统.pdf

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本实用新型公开了一种坩埚冷却供水闭式循环系统，坩埚冷却供水闭式循环系统包括外循环供水系统、内循环冷却水系统以及补水箱D，用于冷却坩埚的内循环冷却水系统为闭式循环系统，所述外循环供水系统和所述内循环冷却水系统通过换热器E换热；所述外循环供水系统给所述补水箱D补水，所述补水箱D给所述内循环冷却水系统补水，所述补水箱D通过溢流口连接至排水口；所述外循环供水系统、所述内循环冷却水系统以及内循环冷却水系统的水泵出气口均通过管路连接至所述排水口。本系统运行稳定性高，安全性高。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213599821 U (45)授权公告日 2021.07.02 (21)申请号 202022528195.0 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (22)申请日 2020