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本实用新型提供了一种用于晶片成膜的封闭型加工中心，属于晶片加工技术领域。该用于晶片成膜的封闭型加工中心包括底座、壳体、集液皿和推液组件。所述壳体固定在所述底座表面，且所述壳体表面安装有门框，所述门框内部转动安装有密闭门，所述集液皿固定在所述密闭门底端，且所述集液皿位于所述壳体内部，所述集液皿顶端开设有开口，所述推液组件包括电动滑台和推液件，所述电动滑台设置于所述壳体内。本实用新型通过增设集液皿对液体进行收集，减小液体四处流淌的可能性，此外，通过电动滑台驱动推液件移动，使推液件推动密闭门表面的液体
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213601843 U
(45)授权公告日 2021.07.02
(21)申请号 202120016421.9
(22)申请日 2021.01.05
(73)专利权人 天津维普泰克科技发展有限公司
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