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本申请揭示了一种用于晶圆载环的自动涂布与清洗装置，包括升降平台、移载单元、涂布清洗单元，移载单元分别与升降平台及涂布清洗单元相邻设置；升降平台负责承载晶舟盒升降；移载单元包括多轴向取放臂、横向夹取机构，横向夹取机构能从晶舟盒内将单一晶圆载环移出至一定点，晶圆载环固定着一晶圆，多轴向取放臂接着吸附晶圆载环移载至涂布清洗单元；涂布清洗单元包括涂布喷头与清洗喷头，涂布喷头会先喷出涂布液于晶圆上，再由清洗喷头喷出清洗液去除晶圆表面的涂布液，借以改变晶圆表层的张力。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213601844 U
(45)授权公告日 2021.07.02
(21)申请号 202120040770.4
(22)申请日 2021.01.08
(73)专利权人 京隆科技（苏州）有限公司
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