一种磁控溅射模拟阴极九磁道磁场分布的自动布置机构.pdfVIP

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2023-03-17 发布于北京
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一种磁控溅射模拟阴极九磁道磁场分布的自动布置机构.pdf

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本实用新型公开了一种磁控溅射模拟阴极九磁道磁场分布的自动布置机构。在非磁性材料组成的基体表面设置有磁条阵列，磁条阵列包括九个磁条，每个磁条上布置有若干个小磁铁，在磁条端部之间水平设置有第五S级磁条、第六N级磁条、第六S级磁条、第七N级磁条，第一、二、四、五N级磁条以及第二、三S级磁条可移动。本实用新型通过自动调整磁条位置，测量磁场表面的磁场强度，根据磁场强度值中最左、最右端峰峰的间距和最左、最右端谷谷的间距比值接近于1，则认为均匀性最好，均匀区最大，确定阴极九磁道磁场分布的磁条间距的最佳位置。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213680869 U (45)授权公告日 2021.07.13 (21)申请号 202022435411.7 (22)申请日 2020.10.28 (73)专利权人常州市乐萌压力容器有限公司