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一种统一进料蒸发装置和镀膜设备。该统一进料蒸发装置包括一蒸发器主体和一管路组件。该蒸发器主体具有相互隔离的多个腔室，并设有一加热安装部，其中该多个腔室用于对应地接收多种化学单体液体，其中该加热安装部适于安装该加热装置，使得该加热装置同时加热该多种化学单体液体以被对应地蒸发成多种化学单体气体。该管路组件包括多个进料管路和一出料管路，其中该多个进料管路分别对应地连通于该多个腔室，用于分别向对应的该多个腔室输送该多种化学单体液体，其中该出料管路具有同时连通于该多个腔室的至少一进口端和适于连通于该镀膜主
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213680863 U
(45)授权公告日 2021.07.13
(21)申请号 202022280141.7
(22)申请日 2020.10.13
(73)专利权人 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公
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