进料装置和镀膜设备.pdfVIP

下载本文档

0
0
约2.08万字
约 21页
2023-03-17 发布于北京
举报
版权申诉

进料装置和镀膜设备.pdf

1、本文档共21页，其中可免费阅读20页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

一种进料装置和镀膜设备。该进料装置适于向反应腔室输入化学单体气体，其中该反应腔室内设有用于放置待镀膜工件的支架，以利用该化学单体气体的聚合在该待镀膜工件的表面形成聚合物膜层。该进料装置包括：至少一第一进料管，其中该至少一第一进料管适于被可连通地设置于该反应腔室的侧壁下部，用于将该化学单体气体从该反应腔室的该侧壁下部输入至该反应腔室的内部；和至少一第二进料管，其中该至少一第二进料管适于被可连通地设置于该反应腔室的侧壁上部，用于将该化学单体气体从该反应腔室的该侧壁上部输入至该反应腔室的内部。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213680865 U (45)授权公告日 2021.07.13 (21)申请号 202022280144.0 (22)申请日 2020.10.13 (73)专利权人江苏菲沃泰纳米科技股份有限公