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本实用新型公开了一种气压自动校准设备的温度压力调节系统,所述温度压力调节系统包括密闭的空腔、温度调节系统、压力调节系统、散热系统控制器,所述空腔由至少四个侧壁围成,所述温度调节系统包括设置在所述侧壁外壁的半导体制冷单元,所述半导体制冷单元根据通过其的电流方向制冷或制热,所述压力调节系统包括压力补偿装置和与所述空腔连接的真空泵,所述散热系统与所述侧壁接触,所述控制器与所述温度调节系统、所述压力调节系统和所述散热系统连接。本实用新型提供的气压自动校准设备的温度压力调节系统利用PLC可编程控制技术、T
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213657924 U
(45)授权公告日 2021.07.09
(21)申请号 202023299197.3
(22)申请日 2020.12.30
(73)专利权人 江阴市赛贝克半导体科技有限公
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