一种晶圆清洗设备用辅助水循环动作装置.pdfVIP

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2023-03-22 发布于北京
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一种晶圆清洗设备用辅助水循环动作装置.pdf

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本实用新型涉及一种晶圆清洗设备用辅助水循环动作装置，包括外壳、盖板和连接块，所述外壳内壁上端一侧安装有滤网，所述外壳上端外壁一侧开设有活动槽，所述外壳上端外壁一侧设置有盖板，所述盖板上端外壁一侧嵌入安装有轴承，所述轴承内部转动安装有转轴，所述转轴上端外壁一侧设置有电机，所述转轴贯穿活动槽一侧外壁对称安装有连接板，所述盖板一侧外壁安装有连接块。本实用新型通过设置滤网、转轴和连接板，达到了提高清洗液体过滤效率的效果，保证清洗液体的循环过滤效率，提高了设备实用性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213793214 U (45)授权公告日 2021.07.27 (21)申请号 202022189496.5 (22)申请日 2020.09.29 (73)专利权人无锡亚电智能装备有限公司