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本实用新型提供了一种光栅尺,包括标尺光栅、光栅读头以及清洁组件:光栅读头与标尺光栅相对活动设置,并能够沿标尺光栅的延伸方向进行往复运动;清洁组件沿光栅读头的移动路径,清洁组件设于光栅读头的前侧;清洁组件连接于外部气源,并用于清洁标尺光栅。使用本实施例的光栅尺时,首先将清洁组件与外部气源连通,清洁组件随光栅读头相对于标尺光栅移动,在移动过程中,设于光栅读头前侧的清洁组件能够在光栅读头与标尺光栅相配合前对标尺光栅进行清洁,以标尺光栅上的粉尘或微小残片与标尺光栅分离,从而避免标尺光栅上的粉尘或微小残片
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213842044 U
(45)授权公告日 2021.07.30
(21)申请号 202022373300.8
(22)申请日 2020.10.22
(73)专利权人 大
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