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本实用新型提供了一种阴极挡板机构,包括箱体、左阴极挡板组件和右阴极挡板组件,左阴极挡板组件和右阴极挡板组件均可活动连接在箱体上,左阴极挡板组件包括挡板模块、球面副模块和销轴卡扣模块,挡板模块的长度方向两端下分别设有上耳板和下耳板,上耳板通过球面副模块与箱体的上侧壁连接,下耳板通过销轴卡扣模块与箱体的下侧壁连接。本实用新型的优点在于:1、无需通过内六角扳手即可完成左阴极挡板组件和右阴极挡板组件的拆卸工作;2、拆卸步骤简便,拆卸时间相对较短,拆卸效率高。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213835586 U
(45)授权公告日 2021.07.30
(21)申请号 202022670469.X
(22)申请日 2020.11.18
(73)专利权人 东莞市华升真空镀膜科技有限公
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