一种化学气相沉积炉及其电极加热装置.pdfVIP

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2023-03-23 发布于四川
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一种化学气相沉积炉及其电极加热装置.pdf

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本实用新型公开了一种化学气相沉积炉及其电极加热装置，所述的电极加热装置包括：三组呈环形阵列均布设置的加热组件；所述加热组件包括：截面为V形的上导电板、下导电板，以及电加热棒；所述上导电板、下导电板相对设置，且V形顶点朝向环形中心设置；所述电加热棒两端分别通过紧固机构可拆卸安装于上导电板、下导电板上。所述的化学气相沉积炉，包括：炉体、炉底，所述炉体内部中空，其下端开口且盖合于炉底上，所述炉体内壁上安装有上述电极加热装置。本实用新型目的旨在保证加热要求的前提下，充分利用加热炉内部空间，以适应产品加热

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213835529 U (45)授权公告日 2021.07.30 (21)申请号 202022776371.2 (22)申请日 2020.11.26 (73)专利权人湖南碳谷新材料有限公司