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本实用新型公布了一种双级混合气冷罗茨真空机组,包括底座、第一安装座、第二安装座,所述底座的顶部设置有第一固定架,所述第一安装座与第二安装座均位于第一固定架的顶部,且第一安装座与第二安装座均与第一固定架固定安装。本实用新型通过设置的第二罗茨泵与第一罗茨泵相互串联连接,能够提高装置最大允许的排气压力,第二连接管能够使大气泵与水环泵组合运行,第三连接管能够使水环泵与第一罗茨泵组合使用,从而可以使水环泵和大气泵与第二罗茨泵和第一罗茨泵进行组合使用,从而可以提高装置的极限真空度,结构简单,便于组合安装连接
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213870270 U
(45)授权公告日 2021.08.03
(21)申请号 202022742784.9 F04C 29/00 (2006.01)
(22)申请日 2
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