一种切削溅射靶材的工作台清理装置.pdfVIP

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2023-03-27 发布于北京
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一种切削溅射靶材的工作台清理装置.pdf

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本实用新型公开了一种切削溅射靶材的工作台清理装置，包括筒体，筒体左部设有磁吸机构，所述磁吸机构包括壳体、螺旋盘绕线圈和铁芯，壳体外围套设有保护套，筒体右端连接有主杆，主杆上连接设置有清扫机构，所述清扫机构由第一U形杆、第二U形杆、第三U形杆和圆柱杆共同组成，圆柱杆的右端设有刷子，该清理装置通过设置磁吸机构和清扫机构来配合完成清理功能，清理功能更加完善，可适用于多种清理场合，磁吸机构可通过充电来进行反复使用，清扫机构可根据需求自由调整弯曲角度，灵活性高，在未使用状态时，将清扫机构折收回主杆槽口内，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213915018 U (45)授权公告日 2021.08.10 (21)申请号 202023080515.7 (22)申请日 2020.12.18 (73)专利权人涿州有融新材料科技有限公司