一种晶圆背面磨床的物料定位装置.pdfVIP

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2023-03-27 发布于北京
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一种晶圆背面磨床的物料定位装置.pdf

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本实用新型公开了一种晶圆背面磨床的物料定位装置，包括吸附盘、安装壳体、旋转机构以及定中心机构，所述安装壳体包括底座、导向板以及安装板，所述导向板上呈环形阵列的设置有至少三个导向孔，所述导向孔在其延伸方向上均穿过同一个圆心；所述旋转机构包括驱动组件以及传动组件，所述传动组件设置在安装壳体内且位于驱动组件一侧，所述驱动组件带动传动组件转动；至少三个所述定中心机构呈圆形阵列分布在传动组件上，所述定中心机构包括相连接的连接组件以及滑动组件，所述连接组件与传动组件相连接，所述滑动组件穿过导向孔且可沿导向孔

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213917721 U (45)授权公告日 2021.08.10 (21)申请号 202022649979.9 (22)申请日 2020.11.16 (73)专利权人天通日进精密技术有限公司