一种半球形镀膜均匀性检测工装.pdfVIP

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2023-03-27 发布于北京
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一种半球形镀膜均匀性检测工装.pdf

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一种半球形镀膜均匀性检测工装，涉及镀膜检测领域，包括衬底、石英试片和装夹杆；所述衬底呈半球状且具有凹腔；所述衬底的外球面上分布有多个向着所述衬底的球心处延伸的装载孔，每个所述装载孔不完全贯穿所述衬底使得所述装载孔与所述衬底的内球面之间形成一台阶；所述台阶具有通孔，通过所述通孔使得所述凹腔与所述装载孔连通；所述石英试片呈与所述装载孔相同的形状并可安装于所述装载孔内；所述装夹杆固定在所述衬底上以支撑所述衬底；通过设计与半球陀螺振子形状相同的衬底，利用衬底来模仿镀膜设备对半球陀螺振子的镀膜效果，最后利

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213932442 U (45)授权公告日 2021.08.10 (21)申请号 202022797691.6 (22)申请日 2020.11.28 (73)专利权人华中光电技术研究所（中国船舶