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本实用新型公开了一种旋转装置，包括：具有反应腔的反应器；壳体，设置在反应器的底部，壳体包括容纳腔，容纳腔和反应腔相连通；旋转轴，绕自身轴线可转动地设置在壳体的容纳腔内，且旋转轴的一端伸至反应腔内；旋转盘，和旋转轴伸至反应腔的一端连接；石墨托盘，支撑在旋转盘上；加热组件，设置在反应腔内，用于对石墨托盘加热；无框电机，包括转子和定子，定子固定设置在壳体上，转子套设在旋转轴的外侧壁上且对应设置在定子的内部。本实用新型由于采用无框电机直接驱动旋转轴转动，对旋转轴仅仅施加旋转的力矩，而无侧向力，使得旋转装
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214004780 U
(45)授权公告日 2021.08.20
(21)申请号 202023005228.X
(22)申请日 2020.12.14
(73)专利权人 芯三代半导体科技（苏州）有限公
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