一种自反馈激光液相烧蚀加工装置.pdfVIP

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2023-03-29 发布于北京
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一种自反馈激光液相烧蚀加工装置.pdf

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本实用新型涉及一种自反馈激光液相烧蚀加工装置。在激光液相烧蚀中加入了自反馈的功能，使用光检测器检测烧蚀过程中由于激光与样品相互作用产生的烧蚀光；由于烧蚀光的波长时一个较宽的范围，同时由于烧蚀光的强度会随着相互作用的激烈程度增大而增大；当液体池内的液面由于挥发或者溅射降低时，水对激光的吸收效果会大大降低，从而导致烧蚀增强，烧蚀光的强度也会大大增大；利用光检测器检测烧蚀光的变化，当烧蚀光强度超过阈值时说明液面过低，从而控制蠕动泵加水，实现了液面的稳定控制，保证了激光液相烧蚀效果的稳定。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213998219 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202022627142.4 (22)申请日 2020.11.13 (73)专利权人宁波齐云新材料技术有限公司