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本实用新型公开了一种方硅芯铸锭炉的加热器结构，主要以解决电阻分配和功率分配对称性较差，使得现有方硅芯炉热场温度分布不均的问题。包括：侧加热器、顶加热器与石墨电极，所述侧加热器由侧加热板组成，所述侧加热板分为四个，分别设置为前后对称与左右对称；所述顶加热器设置在所述侧加热器的上方，所述顶加热器包括第一加热板、第二加热板与第三加热板，所述第二加热板连接所述第一加热板；所述第三加热板连接所述第二加热板，所述石墨电极连接在所述侧加热器与所述顶加热器上。本实用新型获得了加热器电阻和功率分配对称性好，利于形
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214032751 U
(45)授权公告日 2021.08.24
(21)申请号 202022355021.9
(22)申请日 2020.10.21
(73)专利权人 苏州昀丰半导体装备有限公司
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