一种自动对焦电学显微镜.pdfVIP

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2023-03-29 发布于北京
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一种自动对焦电学显微镜.pdf

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本实用新型公开了一种自动对焦电学显微镜，包括底座、竖直固定在底座上的支架、固定于底座上的平面运动平台、镜臂、镜筒、目镜、分光镜、红外测距仪和工业相机；所述支架竖直方向设有滑槽；所述镜臂与滑槽啮合滑动固定在支架上，所述镜臂上设有Z轴电机用于驱动镜臂沿支架上下滑动；所述镜筒竖直固定于镜臂，位于平面运动平台上方；所述镜筒的顶端固定有红外测距仪，底端固定有物镜，所述红外测距仪与物镜同轴心；所述目镜和工业相机固定于镜臂，所述镜筒、目镜和工业相机之间设有光道连接；所述分光镜包括第一分光镜和第二分光镜，所述第

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214041858 U (45)授权公告日 2021.08.24 (21)申请号 202022750871.9 (22)申请日 2020.11.25 (73)专利权人深圳市博视达光学仪器有限公司