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本实用新型公开了一种半导体芯片转运装置组件的清洗与检测设备，包括清洗装置和定位检测装置，所述清洗装置包括位于药液槽中的垫块，在垫块上设有清洗治具，所述清洗治具通过进液管道与气动隔膜泵顶部相连，所述气动隔膜泵一端通过出液管道连接至药液槽底部，所述气动隔膜泵另一端通过气压显示调节阀与压缩空气罐相连；所述定位检测装置包括检测板一侧分布有模拟固定凹槽，相邻的两个模拟固定凹槽之间设有定位棱。带有压力的药液通过多孔清洗板作用到芯片转运装置的每个部位，可将凹棱中的残留脏污完全去除，去除后上部组件与定位检测装置
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214002560 U
(45)授权公告日 2021.08.20
(21)申请号 202022825697.X
(22)申请日 2020.11.30
(73)专利权人 富乐德科技发展（大连）有限公司
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