一种基于运动控制模式的扫描隧穿裂结测量装置.pdfVIP

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2023-03-29 发布于北京
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一种基于运动控制模式的扫描隧穿裂结测量装置.pdf

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本实用新型涉及一种基于运动控制模式的扫描隧穿裂结测量装置，包括：STM‑BJ骨架，所述STM‑BJ骨架固定设置，所述STM‑BJ骨架固定设置有步进电机，所述步进电机的行程丝杆可延伸至所述STM‑BJ骨架的上端面；以及基底，所述基底设置于所述步进电机的行程丝杆并且跟随所述行程丝杆活动；以及探针，固定设置于所述STM‑BJ骨架的上方，且朝向所述基底；以及控制系统，用于控制所述步进电机的行程丝杆伸缩。本实用新型通过固定探针和可移动的基底的互相配合，采用电机从下向上带动基底朝向探针运动，可以给仪器留出广

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214011288 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202022945819.9 (22)申请日 2020.12.10 (73)专利权人厦门大学地址 3