一种真空吸盘夹紧主轴注油结构及晶圆减薄机.pdfVIP

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2023-04-03 发布于北京
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一种真空吸盘夹紧主轴注油结构及晶圆减薄机.pdf

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本实用新型公开了一种真空吸盘夹紧主轴注油结构，并基于该真空吸盘夹紧主轴注油结构提出了一种晶圆减薄机，所述真空吸盘夹紧主轴注油结构包括通过压紧块安装在旋转轴上的角接触球轴承，处于角接触球轴承上方的所述压紧块上开设有注油通道，所述注油通道内安装有直通式压注油杯，所述角接触球轴承处还安装有上油封和下油封，本实用新型的有益效果是：其可以通过压油枪压入油杯孔注入油脂进行补油操作，对角接触球轴承内的油脂进行及时的补充，解决了现有技术中，角接触球轴承内油脂无法得到及时补充，造成角接触球轴承的滚珠与滚道之间产生

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214063587 U (45)授权公告日 2021.08.27 (21)申请号 202120025067.6 (22)申请日 2021.01.06 (73)专利权人东莞市智控鑫能实业有限公司